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电子工业用气体三氯化硼 |
| 编 号： 375001 |
| 著 作 者： |
| 出 版 社：
中国标准出版社
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| 书 号： GB/T178742010 |
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| 出版日期： 2011-6-29 |
市 场 价： ￥16 元 |
| 书 店 价： ￥15.2 元 |
| 立即节省： ￥0.8 元 |
| 人 气： |
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内容简介
本
标准规定了三氯化硼的
技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于以粗制三氯化硼为原料，采用吸附、精馏等方法提纯制得的三氯化硼，主要用于半导体器件
生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。
其他说明
平装 16开 页数：12 字数：11千字
第一发货地
陕西西安
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