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硅片径向电阻率变化的测量方法GB/T11073-2007 |
| 编 号： 207369 |
| 著 作 者： |
| 出 版 社：
中国标准出版社
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| 书 号： |
| 出版日期： 2008-2-1 |
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市 场 价： ￥16 元 |
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| 人 气： |
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内容简介
本
标准规定了用直排四探针法测量硅片径向电阻率变化的方法。
其他说明
平装大16开开/页数：16/字数：22
第一发货地
西安
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